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用于成膜后的退火结晶工艺
，设备由进出料传送段、机械手取放料装置、炉体、预热区、高温区、冷却区、取放片装置、进排气装置、传动组件、电控系统等组成。每层加热、冷却功夫独立可调；

炉体内部的干净度可达百级
，炉内选取模组机械手X、Y、Z搬送
，传送滚轮选取UPE防静电资料造作
，不刮伤产品底面；

搭载智能节造软件系统
，温控精度高
，作为急剧精准、升温速度可控、基板表表温度均匀、溶剂挥发充分。